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Jülicher Multi Methoden Plattform

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Synthese und Probenpräparation

Die Helmholtz Nano Facility (HNF) ist eine Anwendereinrichtung für Nanometerstrukturen und -bauelemente, die alle Aspekte von der Grundlagenforschung bis zur Anwendung abdeckt. Die Herstellung komplexer nanoskaliger Bauelemente erfordert außerordentliche verfahrenstechnische Anstrengungen. Mit einer Reinraumfläche von 1.000 m² und einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen ist die HNF darauf ausgelegt, diese Herausforderungen interdisziplinär anzugehen und Elektrotechnik und Physik mit Chemie und Biologie zu verbinden. Ein hochmoderner Depositionscluster mit In-situ-Charakterisierungstools kombiniert effizient verschiedene Materialien und verbessert die Qualität der Grenzflächen signifikant.

Die HNF unterstützt ihre Anwender durch Prozessexperten und Ingenieure bei der Prozessoptimierung und –entwicklung.

Weitere Informationen zur Helmholtz Nano Facility finden Sie unter http://www.fz-juelich.de/hnf/EN/Home/home_node.html
Zugangsbedingungen sind unter http://www.fz-juelich.de/hnf/EN/Access/_node.html beschrieben.
Das User Office finden Sie unter http://www.fz-juelich.de/hnf/EN/Access/UserOffice/_node.html


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