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Institut für Energie- und Klimaforschung
IEK-5 Photovoltaik

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Das Silizium Heterojunction Baseline Programm

Silizium Heterojunction Baseline Programm

Das Silizium Heterojunction Baseline Programm umfasst den Ausbau der Prozesstechnologie zur Einrichtung einer vollständigen Baseline für hocheffiziente Silizium-Heterostruktursolarzellen (Silicon Heterojunction, SHJ) am Institut für Energie- und Klimaforschung 5 - Photovoltaik. Technologisches Gesamtziel ist die Realisierung von SHJ-Solarzellen mit einem reproduzierbaren Wirkungsgrad von >22 % auf industrieller Wafergröße als Plattform für weitere innovative Konzepte und industrierelevante Prozesse, die zu Wirkungsgradsteigerung von weiteren 3-4 % absolut führen können. Die Baseline beinhaltet Anlagen, die die gesamte Prozesskette von SHJ-Solarzellen von der nasschemischen Vorbehandlung über die Dünnschichtabscheidung bis zur Metallisierung sowie deren Analytik zur schnellen Ergebnisbeurteilung nach dem aktuellen Stand der Technik abbilden. Ein Durchsatz von bis zu 60 Zellen/Tag auf 6 Zoll Wafer soll hiermit möglich sein. Diese Aktivität zielt neben der Bereitstellung einer Plattform für die Entwicklung von innovativen Hocheffizienzkonzepten auch auf die Unterstützung der industriellen Anlagenbauer, die in dem Photovoltaik-Umfeld und insbesondere im SHJ-Thema auf der Zellebene aktiv sind.


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